?三坐標(biāo)測量儀（CMM，Coordinate Measuring Machine）是一種基于空間三維坐標(biāo)測量原理的高精度測量設(shè)備。它的主要組成部分包括主機(jī)、測頭系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)。三坐標(biāo)測量儀維修保養(yǎng)方法包括以下幾個(gè)步驟：
1、每天工作前清潔：使用干凈、不掉纖維的高支紗布浸透99％純度工業(yè)無水乙醇清潔空氣軸承導(dǎo)軌滑動通道的所有裸露表面，清潔工作臺面和用于校準(zhǔn)的探針頭和標(biāo)準(zhǔn)球表面。每一周用酒精擦拭一次防塵罩下的氣浮軸承導(dǎo)軌面，除去防塵罩上的灰塵。

2、觀察測量室內(nèi)的溫度和濕度：保證其在廠家要求的范圍內(nèi)，做好每日溫濕度控制圖記錄。在長時(shí)間沒有使用三坐標(biāo)測量機(jī)時(shí)，在開機(jī)前應(yīng)做好準(zhǔn)備工作。

3、檢查機(jī)床氣源和供氣裝置：放水放油，定期清洗過濾器及油水分離器。檢查供氣裝置是否松動或損壞，測量機(jī)的外罩是否松動或損壞。

4、定期給光桿、絲桿、齒條上少量防銹油。

5、開機(jī)前檢查電源：配置穩(wěn)壓電源，定期檢查接地，接地電阻小于4歐姆。