?三次元儀器表面粗糙度測(cè)量?jī)x采用針描法原理的表面粗糙度測(cè)量?jī)x由傳感器、驅(qū)動(dòng)器、指零表、記錄器和電感傳感器是輪 廓儀的主要部件之一,其工作原理是,在傳感器測(cè)桿的一端裝有金剛石觸針,觸針尖 端曲率半徑r很小,測(cè)量時(shí)將觸針搭在工件上,與被測(cè)表面垂直接觸,利用驅(qū)動(dòng)器以一定的 速度拖動(dòng)傳感器。
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由于被測(cè)表面輪廓峰谷起伏,觸狀在被測(cè)表面滑行時(shí),將產(chǎn)生上下移動(dòng)。 此運(yùn)動(dòng)經(jīng)支點(diǎn)使磁芯同步地上下運(yùn)動(dòng),從而使包圍在磁芯外面的兩個(gè)差動(dòng)電感線圈的電感量發(fā)生變化。
傳感器的線圈與測(cè)量線路是直接接入平衡電橋的,線圈電感量的變化使電橋失 去平衡,于是就輸出一個(gè)和觸針上下的位移量成正比的信號(hào),經(jīng)電子裝置將這一微弱電量的變化放大、 相敏檢波后,獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號(hào)。
此后,將信號(hào)分成三路:一路加到指零表上, 以表示觸針的位置,一路輸至直流功率放大器,放大后推動(dòng)記錄器進(jìn)行記錄;另一路經(jīng)濾波和平均表放大 器放大之后,進(jìn)入積分計(jì)算器,進(jìn)行積分計(jì)算,即可由指示表直接讀出表面粗糙度Ra值。
傳統(tǒng)表面粗糙度測(cè)量?jī)x工作原理框圖指零表的作用反映鐵芯在差動(dòng)電感線圈中所處的位置。當(dāng)鐵芯處于差動(dòng)電感線圈的中間位置時(shí),指零表指針指示出零位,即保證處于電感變化的線性范圍之內(nèi)。
所以,在測(cè)量之前,必須調(diào)整指零表,使其處于零位。噪聲濾波的目的在于剔除一些干擾信號(hào),如電氣元件的噪聲所引起的虛假信號(hào)。大量的測(cè)試表明,高于400Hz的信號(hào)即不是被測(cè)表面粗糙度所引的信號(hào),必須從總信號(hào)中加以剔除。
所以噪聲濾波器是一種低通(低頻能通過(guò))濾波器,它使400Hz以下的低頻信號(hào)順利通過(guò),而將400Hz以上的高頻信號(hào)迅速衰減,從而達(dá)到濾波的目的。波度濾波的目的則是用以濾掉距大于取樣長(zhǎng)度的波度,因此它是一個(gè)高通(高頻能通過(guò))濾波器,使表面粗糙度所引起的高頻(相對(duì)于波度引起的低頻而言)信號(hào)能自由通過(guò)。
經(jīng)過(guò)噪聲濾波和波度濾波以后,剩下來(lái)的就是與被測(cè)表面粗糙度成比例的信號(hào),再經(jīng)平均表放大器后,所輸出的電流I與被測(cè)表面輪廓各點(diǎn)偏離中線的高度y的絕對(duì)值成正比,然后經(jīng)積分器完成的積計(jì)算,得出Ra值,由指零表顯示出來(lái)。
這種儀器適用于測(cè)定0.02-10μm的Ra值,其中有少數(shù)型號(hào)的儀器還可測(cè)定更小的參數(shù)值,儀器配有各種附件,以適應(yīng)平面、內(nèi)外圓柱面、圓錐面、球面、曲面、以及小孔、溝槽等形狀的工件表面測(cè)量。測(cè)量迅速方便,測(cè)值精度高。